ICP-MS（Inductively coupled plasma mass spectrometry），全稱電感耦合等離子體質譜。是以電感耦合等離子體作為離子源，以質譜進行檢測的無機多元素分析技術。ICP-MS技術起源于已有的兩種技術——氬氣ICP和四級桿質譜儀，這些系統雖然還需要在ICP與質譜儀的接口方面作一些改進。
電感耦合等離子體(ICP)和質譜(MS)技術的聯姻成為20世紀80年代初分析化學領域最成功的創舉，也是分析科學家們最富有成果的一次國際性技術合作。
從1980年Houk等人的第一篇ICP-MS可行性文章發表，到1983年第一臺商品化儀器的問世只有3年時間。
盡管早期ICP-MS系統昂貴、龐大、復雜、自動化程度有限，而且信號漂移嚴重，但低檢出限的多元素同時檢測和簡單的質譜信息輸出(包含同位素比值信息)等顯著的優點使人們很快接受了這項剛出現的技術。
常用術語
質量數：在核子/原子中，中子和質子的總數。
核素（Nuclide）：給定M值和Z值的一種核子。
同中子異荷素（Isotone）：中子數（N）相同，質子數或質量數不同的核素。
同位素（Isotope）：質子數相同（Z），中子數或質量數不同的核素。
同量異位素/同質異位素（Isobar）：質量數（M）相同，質子數和中子數不同的核素。