ICPMS常見問題及解決方法

如遇到儀器有問題，先進入Diagnostics菜單，查看Error log

一，Error1203，1218，1219點不著火最常見的原因就是漏氣導致氬氣不純。

1.首先在儀器維護界面中purge管路，

2.檢查樣品管是否在水中。

3.檢查與矩管連接的兩路氣Plasma gas 和 Aux gas 接頭是否擰緊。Spray chamber ，連接管，矩管及霧化器安裝是否正常

4.廢液管與spray chamber 連接是否正常。EndCap與spray chamber 間的密封圈是否老化。

5.如問題還沒有解決，摘下spray chamber 和矩管中間的連接管。用封口膜封住矩管磨口端，點火。如果正常了，重復2 到4

6.檢查矩管是否變形，如有shield plate 請檢查shield plate 和 石英bonnet是否變形。

7.檢查氣瓶，減壓表，及所有氣路接口及管線是否漏氣。

8.檢查矩管下的光纖位置是否正常。可用電筒照光纖，觀察儀器控制面板中plasma 是否出現。

9.檢查調諧參數中RF Matching數值是否合理（1.6-1.7）

如果完成上述檢查還不能點火請致電Agilent

二，Error1208，2151，2152通常是真空問題，在由Standby→Analysis 過程中門閥打開后，

IF/BK 真空不能維持在450Pa 以內

1.首先檢查樣品錐錐孔是否變大，樣品錐密封O 圈是否老化

2.plasma 離錐口距離是否太大，調整矩管位置，調整Sample depth

3.檢查機械泵油是否變色或缺油

4.打開儀器大蓋，檢查真空泵管是否松動

三，Error2152

1.檢查Purge valve是否擰緊

2.真空腔上蓋是否關緊

3.首先檢查樣品錐錐孔是否變大，樣品錐密封O 圈是否老化

4.plasma 離錐口距離是否太大，調整矩管位置，調整Sample depth

5.檢查機械泵油是否變色或缺油

6.按照維護光盤清洗Penning Gauge中的BodyTube，如還不正常右鍵點擊儀器控制面板上側

的藍條，選中Cmdline On

在commandline中輸入如下命令 scwrite “fake:ain:pgan 1,0.0004”使分析器真空顯示為4E-4Pa

再輸入scwrite “frcd:bout:pgan off ” 關掉Penning gauge

四，靈敏度低

1. 檢查氬氣壓力是否正常

2. 首先檢查霧化器樣品提升是否正常，將樣品管從水中抽出再放入，觀察樣品管中有無

氣泡提升或者取下EndCap在維護菜單中打開氬氣閥，將Carrier gas 設為1L/min,直接觀察

霧化效果

3．檢查spray chamber，connector 及矩管連接是否正常

4．清洗整個進樣系統和樣品錐及截取錐

5．觀察矩管中心通道是否變形或堵塞

6．檢查炬管位置是否正確

7．檢查Axis和Resolution是否正常

8．檢查離子透鏡固定螺絲是否擰緊

9．如果儀器在反應池模式靈敏度低首先檢查在無氣體模式時靈敏度是否符合要求。