ICP－MS是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素。廣泛應用于半導體、地質、環境以及生物制藥等行業中。
ICP－MS全稱是電感藕合等離子體質譜，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。
質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。
ICP－MS的發展已經有20年的歷史了，在長期的發展中，人們不斷的將新的技術應用于ICP－MS的設計中，形成了各類ICP－MS。ICP－MS主要分為以下幾類：四極桿ICP－MS，高分辨ICP－MS（磁質譜），ICP－tof－MS。本文主要介紹四極桿ICP－MS。
主要組成部分
圖1是ICP－MS的主要組成模塊。
樣品通過離子源離子化，形成離子流，通過接口進入真空系統，在離子鏡中，負離子、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過，并且達到聚焦的效果。在分析器中，儀器通過改變分析器參數的設置，僅使我們感興趣的核質比的元素離子順利通過并且進入檢測器，在檢測器中對進入的離子個數進行計數，得到了最終的元素的含量。