原理:利用氬等離子體產生的高溫使用試樣完全分解形成激發態的原子和離子,由于激發態的原子和離子不穩定,外層電子會從激發態向低的能級躍遷,因此發射出特征的譜線。通過光柵等分光后,利用檢測器檢測特定波長的強度,光的強度與待測元素濃度成正比。