主要技術參數
項目
M2
M4
檢測基體
單基體
多基體
光學系統
帕型-龍格結構
光室結構
充氬方式
充氬循環方式
波長范圍
165-580nm
165-580nm(可擴展)
光柵焦距
150mm
300mm
光柵刻線
3600條/mm
探 測 器
多CMOS檢測器
光源類型
可編程脈沖數字光源
儀器尺寸
643*450*270
714*558*270
儀器重量
30Kg
40Kg