MEMS科學研究開始逐漸棄用硅材料

　　自1984年以來，“固態傳感器、執行器及微系統研討會”（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop）一直都是最高水平MEMS新技術的展示舞臺。該國際研討會是MEMS領域最具競爭力的會議之一，眾多提交的參會文摘中，只有10%的論文能夠榮幸獲得演講機會。

　　該研討會是窺視未來商業化產品的窗口。例如，早期的研討會上出現了許多關于MEMS加速度計和陀螺儀的論文，不久這些產品就逐漸在市場上占據主導地位。

固態傳感器、執行器及微系統研討會中硅基器件演講論文的比例

　　麥姆斯咨詢報道，在近些年的固態傳感器、執行器及微系統研討會上，出現了令硅材料從業者感到不安的趨勢——關于硅材料技術的論文數量逐漸降低。在2016年6月的研討會上，僅有53%的演講論文是關于硅材料器件的（只要器件中包含了硅材料，無論是作為被動基底還是活性材料）。

　　從過去12年來的演講主題可以清晰的看出，硅材料微型器件的學術研究熱潮已經開始逐漸消退。

　　學術研究人員現在開始專注于開發聚合物和紙基微型器件。利用這些材料開發的器件，不僅工藝環保，而且制作設備簡單、成本較低。相對硅材料，它們大幅縮減了研發經費預算。許多聚合物和紙基微型器件的創新都指向了醫療應用，對該領域來說，生物相容性和材料的柔性是基本要求。