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  • 發布時間:2021-04-11 21:19 原文鏈接: MST瑞士CSM微米劃痕儀


    詳細信息儀器簡介:微米劃痕測試儀(30mN - 30N) 微米級劃痕測試儀被廣泛應用于界定薄膜與基體的結合強度,薄膜厚度一般小于5微米。它還被用于分析有機、無機,軟質和硬質薄膜的破壞形式。薄膜材料包括PVD, CVD, PECVD單層或多層薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,和其他應用于各種領域的薄膜,包括光學、微電子、保護性薄膜、裝飾性涂層等領域。基體材料可以為硬質或軟質材料,包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物、以及有機材料等。 技術參數: 具有有源力學反饋系統校正樣品形貌帶來的法向力變化 劃痕正向力zui小載荷 ?30mN 劃痕正向力zui大載荷 ?30N 正向力分辨率 0.3mN zui大摩擦力 30N 摩擦力分辨率 0.3mN zui大劃痕深度 ?1000 um 位移分辨率 0.3nm zui大劃痕長度 ?120mm 劃痕速度 0.4-600mm/min 選件 客戶可以根據經費和實際需求選擇CPX或OPX納米力學平臺),在此基礎上可以選擇CSM公司其它的力學測試模塊如UNHT(超納米壓痕模塊),NHT(納米壓痕模塊),MHT(微米壓痕模塊),AFM(原子力顯微鏡)模塊或Conscan(白光共聚焦顯微鏡)等,以構建自己需要的微納米力學綜合測試系統 多種金剛石劃痕針頭選擇(曲率半徑50um,100um,200um等,Rockwell C) 真空、濕度與溫度控制選件 集成原子力顯微鏡或白光共焦顯微鏡三維成像 主要特點: 實時記錄正向力、摩擦力、摩擦系數、聲發射信號隨劃痕距離的變化 具有前掃描、后掃描模式 往復劃痕模式(磨損模式) 全自動多點劃痕模式、陣列劃痕模式 恒力劃痕、漸進力劃痕及臺階增力劃痕模式 全自動連續景深成像(可在Z方向平臺自動移動下進行不同深度對焦照相,有效克服光學物鏡景深限制,形成Z方向高清晰圖像) 全景成像模式:在任一倍率鏡頭下(如100倍物鏡,視場50-60um),可在劃痕方向平臺自動移動下逐幅拼接劃痕不同位置的光學圖像,形成劃痕全景圖像,成像長度不低于30mm 劃痕的光學圖像和劃痕位置實時一一關聯對應 鼠標移動至任意劃痕位置時,可以顯示并讀取該點對應的正向力、摩擦力、位移深度、聲發射信號數值 鼠標移動至任意劃痕位置時,可以觀察到該點對應的光學圖像 點擊鼠標可以自動定義并記錄臨界載荷以及該點對應的摩擦力、聲發射、位移深度數值 計算和顯示單個試樣不同位置劃痕的臨界載荷及其對應的聲發射、摩擦力、位移深度的平均值和誤差; 任意多條劃痕曲線同時顯示、或求平均,可任意選擇測試參量(如正向力、摩擦力、聲發射、位移深度)以顯示或不顯示其對應曲線 預約或定時實驗功能 壓頭使用次數自動統計功能 對儀器硬件或測試功能具有用戶不同等級權限設定(密碼保護)功能 自動測試報告生成功能 多語言切換(如中文、英文、德文、日文、法文等) 支持WindowsTM XP及Vista操作系統

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