NanoCalc 光學薄膜厚度測量系統
NanoCalc是一種用戶可配置的膜厚測量系統，它利用分光光譜反射儀來精確地測量光學或非光學薄膜厚度，可廣泛應用于半導體、醫療和工業生產中。
利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數據，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。NanoCalc的膜厚測量范圍為1nm到1mm，只要待測材料有一定的透射或反射就能通過NanoCalc進行膜厚測量，這些材料包括氧化物、氮化物和保護膜層等，通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。
1nm以上的金屬膜厚也能測量，只要不是完全不透光的。對于已知的系統，3層以內的多層膜厚測量可以在不到一秒鐘時間內完成。
通常擬合曲線和實際曲線由于干涉會引起一些差異，NanoCalc的算法充分考慮到了這一點，從而可以在比較粗糙的表面進行測量。
