主要技術參數：
SF6濕度：
l 測量范圍：露點-80+20℃（支持PPMV等）
l 露點精度：±0.4℃（當露點溫度低于0℃，傳感器輸出為霜點）
l 響應時間63%[90%]
+20→-20℃ Td 5s[45s]
-20→-60℃ Td 10s[240s]
l 分辨率：露點0.1℃或0.1ppm
l 重復性：±0.4℃
l 氣體流量SF6調節在0.5～0.9L/min
l 探頭保護：不銹鋼燒結過濾網
