SPM納米加工技術

       提示：掃描探針顯微鏡( scanning probe microscopes，SPM)，包括掃描隧道顯微鏡( STM)、原子力顯微鏡(AFM)、激光力顯微鏡(LFM)、磁力顯微鏡(MFM)等。SPM成為人類在納米尺度上，觀察、改造世界的一種新工具。STM是通過探測隧道電流來感知物體表面情況的，因而它有一主要缺陷：要求被測樣品是導體或半導體，這在一定程度上限制了它

    掃描探針顯微鏡( scanning probe microscopes，SPM)，包括掃描隧道顯微鏡( STM)、原子力顯微鏡(AFM)、激光力顯微鏡(LFM)、磁力顯微鏡(MFM)等。SPM成為人類在納米尺度上，觀察、改造世界的一種新工具。

    STM是通過探測隧道電流來感知物體表面情況的，因而它有一主要缺陷：要求被測樣品是導體或半導體，這在一定程度上限制了它的應用。原子力顯微鏡是一種對非導電樣品也敏感的掃描探針顯微鏡，它通過探測原子間的近距相互作用力（范德華力）而非隧道電流來獲取物體表面信息。這使得AFM在材料領域獲得了極為廣泛的應用，但目前其分辨率沒有STM高。因此，沒有束斑直徑和平行度要求的STM和AFM有可能成為未來超大規模集成電路加工的首選工具，扮演非常重要的角色。從加工的精度來說，STM和AFM優于現行的任何刻飾技術，因為STM和AFM可以加工小到單個原子的結構(0.3 nm)。但是，用STM和AFM加工未來的集成電路，同樣也必須解決加工速度的問題。

    STM納米加工的最早成果是IBM的科學家用一個個氙原子在鎳表面上排布成IBM商標字樣。目前在操縱原子、分子上又有很大發展，人們會有朝一日終將按照自己的意志直接操縱一個個原子來制造具有特定功能的產品。