俄歇電子能譜(AES)、x 光電子能譜(XPS)、x 射線能量色散譜(EDS)是目前應用最廣泛的顯微分析方法。與 AES 和 XPS 相比,EDS 有諸多優點,如測試方便、不損壞試樣、分析速度快；但缺點是分辨率和定量分析準確度不夠高,這主要是由于大的加速電壓和束流導致大的分析面積和表面效應。
