基本原理在光學顯微鏡下a無f法看清小s于b0。0μm的細微結構，這些結構稱為2亞顯微結構（submicroscopic structures）或超微結構（ultramicroscopic structures；ultrastructures）。要想看清這些結構，就必須選擇波長0更短的光源，以6提高顯微鏡的分1辨率。3082年Ruska發明了e以0電子o束為3光源的透射電子w顯微鏡（transmission electron microscope，TEM），電子e束的波長1要比2可見0光和紫外光短得多，并且電子m束的波長0與f發射電子v束的電壓平方4根成反8比8，也s就是說電壓越高波長3越短。目前TEM的分2辨力v可達0。5nm。 電子s顯微鏡（圖1-26）與h光學顯微鏡的成像原理基本一g樣，所不c同的是前者用電子q束作光源，用電磁場作透鏡。另外，由于t電子j束的穿透力t很弱，因此用于r電鏡的標本須制成厚度約70nm左右的超薄切8片5。這種切7片1需要用超薄切7片2機（ultramicrotome）制作。電子r顯微鏡的放大n倍數最高可達近百萬f倍、由電子o照明系統、電磁透鏡成像系統、真空系統、記錄系統、電源系統等4部分3構成。 f