1.分析速度快，通常每個元素分析測量時間在2～lOOs之內即可完成。
2.非破壞性，X射線熒光分析對樣品是非破壞性測定，使得其在一些特殊測試如考古、文物等貴重物品的測試中獨顯優勢
3.分析樣品范圍廣，可以對元素周期表上的多種元素進行分析，并可直接測試各種形態的樣品。
4.分析樣品濃度范圍寬，可分析含量在0.0001%～100%寬范同內的組分含量。
5.分析精度高、重現性好。
