(1)可以分析除H和He以外的所有元素,對所有元素的靈敏度具有相同的數量級。
(2)相鄰元素的同種能級的譜線相隔較遠,相互干擾較少,元素定性的標識性強。
(3)能夠觀測化學位移。化學位移同原子氧化態、原子電荷和官能團有關。化學位移信息是XPS用作結構分析和化學鍵研究的基礎。
(4)可作定量分析。既可測定元素的相對濃度,又可測定相同元素的不同氧化態的相對濃度。
(5)是一種高靈敏超微量表面分析技術。樣品分析的深度約2 nm,信號來自表面幾個原子層,樣品量可少至10-8g,絕對靈敏度可達10-18g。