X射線光電子能譜(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)技術也被稱作用于化學分析的電子能譜(electron spectroscopy for chemical analysis,ESCA).XPS屬表面分析法,它可以給出固體樣品表面所含的元素種類、化學組成以及有關的電子結構重要信息,在各種固體材料的基礎研究和實際應用中起著重要的作用.文章簡要介紹了XPS儀器的工作原理和分析方法,并給出了XPS在科學研究工作中的應用實例.
