能量—電荷系數
X射線在介質物質中平均得到的電荷（N）與損耗的能量（E）的比值，被我們稱為能量—電荷轉換系數。由于能量—電荷轉換具有統計性，所以一般表示為平均值。
能量分辨率
X射線探測器中最為重要的系統參數便是能量分辨率，能量分辨率反映了探測器對不同類型的入射粒子的能量分辨能力。能量分辨率越小，則表示探測器可區分更小的能量差別。通常我們將能量分辨率分為絕對、相對分辨率兩種類型。以能量高斯分布的半高寬（FWHM）來表示的被稱為絕對分辨率；而相對分辨率則是使用絕對分辨率與峰位的比值來表示。
探測器的能量分辨率受諸多因素的影響，如：探測器的有效探測面積、探測元器件類型、甑別和計數器能力、后續處理電路時間常數等。在此時間常數通常指脈沖處理器所耗費時間，也就是是射線從進入探測器后，其測量并處理能量所需時長。探測器分辨率與其時間常數、面積、分析效率幾者之間有著明晰的關聯，即：面積大小與分辨率高低成反比；當面積不變時，時間常數與光子測量準確度同時增加時，其分辨效果越好[5]。由此不難看出，時間常數是影響分析效率與能量分辨率的重要因素，然而兩者卻無法同一，因此從儀器實用層面出發，必須讓分辨率與靈敏度兼顧。
輸出穩定性
探測器能量—電荷轉換系數對于環境溫度t和供電電源電壓V等相關條件的敏感性常被稱作其輸出穩定性。
探測效率
探測效率多被定義為記錄到的脈沖數與入射X射線光量子數的比值。由于X射線和物質的作用并不是連續進行的，同時X射線光量子與物質作用產生磷光或電離也并非絕對，因此X射線探測器探測效率不會大于1。一般我們按照探測效率的不同特性將其分為兩類：絕對效率和本征效率。X射線總入射光量子數與輻射源發射的量子數的比值稱為絕對效率。通常由于探測器的感應區相對于輻射發射光量子只是一個很小的范圍，而輻射源是均勻光發射，這樣一來探測器可以接收到有限的輻射光子，所以絕對探測效值率既受到探測器本生特性的影響，也和探測器系統的外觀設計有關。本征效率是指系統所記錄到的脈沖個數同入射到探測器感應區的光量子數之比。
時間分辨
探測器時間分辨能力主要由探測器系統信號輸出的上升時間和數據信號獲取的采集時間兩方面決定[6]。當然也和探測器的光敏面積、探測器材料、環境溫度等條件相關 。