X射線能譜儀在薄膜器件刻蝕中的應用

锫鈦酸鉛[Pb（Ti,Zr）O₃,簡稱 PZT]是一種新型的鐵電薄膜材料,具有獨特的電學,光學性能,有很廣泛的應用價值。PZT 薄膜與器件的制造,均采用集成電路制造工藝。使用掃描電鏡與 X 射線能譜儀對其進行工藝監控,可以得到比較滿意的結果。