X射線熒光儀器是指波長為0.01~10nm的電磁波，1895年倫琴（W. C. Roentgen）在使用放電管工作時發現了X射線，因為這一個重大發現，倫琴于1901年獲得了諾貝爾獎。1913年莫斯萊（H. G. Moseley）建立了X射線波長與原子序數的關系，奠定了X射線熒光光譜分析的基礎，第一臺波長色散X射線熒光分析儀是在1948年由H.費里德曼（H. Friedmann）和L.S.伯克斯（L. S. Birks）制造出來的，20世紀50年代后X射線熒光分析法開始迅速發展，隨后其在分析領域的地位到了60年代得以確立。