X射線熒光儀器(X Ray Fluorescence,XRF)又稱為X射線熒光光譜法,是確定物質中微量元素的種類和含量的一種方法。它是指根據原子在原級X射線或粒子的激發下發射出的次級的特征X射線(X射線熒光)的波長和長度,對元素進行定性和定量的分析方法。