X射線熒光光譜儀優點：
1)可在一臺儀器上可實現掃描式X射線波長色散分析、X射線能量色散分析、X-射線聚焦微小區域分析、游離氧化鈣X射線衍射分析。
2)波長色散通道（波譜核）和能量色散通道（能譜核）可同時分別得到Be- Am 和Na-Am 所有元素的光譜數據和定量分析結果。
3)軟件可以得到上述各種分析技術的譜圖，可對同一樣品得到由波長色散和能量色散光譜同時分析的統一定量結果。
4)軟件可根據分析樣品的狀態，濃度范圍，相關標樣信息和分析要求既準確度、精度和靈敏度自動設定分析條件。
5)自動進樣器：可自動識別液體樣品.具有緊急樣品優先分析功能