針對經驗系數法對標準樣品的嚴重依賴和適用性窄的問題，基本參數法（FP）越來越受到重視。
基本參數法是對X射線的產生、濾波、X射線與物質的作用、探測器的各種效應，根據已經掌握的數據庫和物理理論進行計算，將計算譜與實測的譜，進行對比，通過迭代過程不斷逼近真實含量。以迭代的收斂的結果，作為定量結果。因此基本參數法大大降低了對標準樣品的依賴，其目標是進行無標定量分析。
一句話，基本參數法將X射線熒光光譜整個物理學過程，采用基本參數庫和一系列數學模型進行描述，利用計算機軟件技術，實現快速實時計算與迭代，直接得到樣品中元素種類和含量。眾所周知，絕大多數分析儀器是采用物理學原理實現化學物質的分析，對物質的定性和定量均需要標準物質建立儀器信號強度（或類別）與標準物質含量（或類別）之間的關系曲線，進而實現對目標樣品的定性定量分析。而X射線熒光光譜領域借助基本參數法以及一些列數學模型，通過物理學明確的理論計算，不借助標準物質即可得到目標樣品中元素成分和含量，可謂是分析儀器中一個奇跡的存在！