X射線熒光光譜法是一種相對分析方法,光譜儀只提供X射線熒光的強度,要找到熒光強度與樣品濃度的關系,需要一套高質量的標準樣品,根據元素的濃度和已測的該元素的特征譜線的強度按一定關系進行擬合繪制工作曲線,以該工作曲線為基礎測試同類型樣品元素的組成和含量。