1.優點:
設備相對簡單。
可以在大氣中工作，靈敏度高。
2.缺點:
X射線入射深度較大，因而當薄膜厚度在微米級以下時，常規射線技術在測定薄膜結構和成分信息時沒有優勢。
如:實驗使用Cu靶X射線的波長約為0.15 nm，其在固體中的穿透厚度一般在100~10000 m之間，然而一般薄膜厚度通常在10~100 nm。這時X射線穿透深度遠大于樣品薄膜厚度，因此常規的X射線熒光法襯底的干擾很大，很難實現對納米級薄膜進行成分分析。所以，需要控制X射線的入射角度，減小入射深度，減輕襯底信息的干擾。
