X射線熒光光譜儀屬于大型分析測試儀器，對周圍環境要求比較高。實驗室內要保證恒溫、恒濕，避免酸性氣體存在；要保持清潔，避免震動；要保證電源穩定，并配有獨立的地線。定期對X射線熒光光譜儀各組成部分，如高壓X射線光管、檢測晶體、探測器、真空系統等進行檢查、維護和保養，保證儀器處于最佳的運行狀態。
