1.定性分析:
不同元素的熒光X射線具有各自的特定波長，因此根據熒光X射線的波長可以確定元素的組成。
如果是波長色散型光譜儀，對于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉動的2θ角可以求出X射線的波長λ，從而確定元素成分。事實上，在定性分析時，可以靠計算機自動識別譜線，給出定性結論。
但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。
2.定量分析：
X射線熒光光譜法進行定量分析的依據是元素的熒光X射線強度Ii與試樣中該元素的含量Wi成正比
