(1）分析速度快。
(2）X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態及物理狀態無關。
(3）非破壞分析。
(4）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對化學性質上屬于同一族的元素也能進行分析。
(5）分析精密度高。
(6) X射線光譜比發射光譜簡單,故易于解析。
(7）制樣簡單。
(8）X射線熒光分析系表面分析，測定部位是0.1mm深以上的表面層。
