當一束能量足夠大的X射線光子與一種物質的原子相互作用時,逐出一個軌道電子而出現一個空穴,所產生的的空穴并非均能產生特征X射線,還會產生俄歇電子。產生特征X射線躍遷的概率就是熒光產額,俄歇躍遷的概率成俄歇產額。