X射線發生系統：產生初級高強X射線，用于激發樣品；
冷卻系統：用于冷卻產生大量熱的X射線管；
樣品傳輸系統：將放置在樣品盤中的樣品傳輸到測定位置；
分光檢測系統：把樣品產生的X射線熒光用分光元件和檢測器進行分光，檢測；
計數系統：統計，測量由檢測器測出的信號，同時也可以除去過強的信號和干擾線：
真空系統：將樣品傳輸系統和分析檢測系統抽成真空，使檢測在真空中進行（避免強度的吸收損失）；
控制盒數據處理系統：對各部分進行控制，并處理統計測量的數據，進行定性，定量分析，打印結果。
