X射線熒光分析方法是一種現代光學分析方法。X射線照射物質時，除發生散射現象和吸收現象外，還能產生次級X射線，即熒光X射線。熒光X射線的波長只取決于物質中原子的種類。因此，根據熒光X射線的波長就可確定物質的元素組分；再根據該熒光X射線的強度，還可定量分析所屬元素的含量。20世紀50年代開始發展，60年代得以推廣應用。已廣泛用于合金、礦石、玻璃、陶瓷、油漆、塑料、石油等材料的元素分析。
