可以快速、無損地對樣品（固體、粉末、液體、多層鍍膜等）的元素組成進行定性、定量分析，還可以通過面掃描功能獲得樣品的元素面分布圖（掃描區域最大可達10 cm×10 cm）。儀器配備的雙真空式設計可以在高靈敏度模式或大氣氛圍模式分析從Na到U的所有元素。可應用于地質礦物、電子電器、生物醫藥、環境、考古、法醫等多個領域。
