X射線熒光分析法(X-ray fluorescence analysis),是對固體或液體試樣進行化學分析的一種非破壞性物理分析法。試樣在強X射線束照射下產生的熒光X射線被已知高點陣間距的晶體衍射而取得熒光X射線光譜。這種譜線的波長是試樣中元素定性分析的依據;譜線的強度是定量分析的依據。