X射線熒光分析法用于物質成分分析，檢出限一般可達3-10～10-6克/克(g/g)，對許多元素可測到10-7～10-9g/g，用質子激發時 ，檢出可達10-12g/g；強度測量的再現性好；便于進行無損分析；分析速度快；應用范圍廣，分析范圍包括原子序數Z≥3的所有元素。除用于物質成分分析外，還可用于原子的基本性質如氧化數、離子電荷、電負性和化學鍵等的研究。
