經驗系數法：經驗系數法是最古老和最常用的計算方法，它用經驗來確定系數，以表示一種元素對另一種元素的基體效應。甚至不經數學證明，就能直觀地理解基體中元素i的譜線強度與共存的其他各素的含量間具有一種單值的函數關系。通過幾組具有相同基體構成（元素或元素氧化物，但含量不同），已知各組分含量的標樣，通過聯立方程式，解矩陣得出這個單值的函數關系（由計算機程序計算得出）。經驗系數法在某些情況下應用比較簡便，對于試樣品種有限的重復件分析（比如冶金、水泥工業中的品質控制）用經驗系數法比較適宜，且能獲得良好的結果。基本參數法：目前大多數的“XRF無標（樣）定量軟件”的數學模型和定量原理都是基于“基本參數法”。與經驗系數法相反，基本參數法是以試樣均勻，厚度較大和表面平滑為(假設)條件。不假設以單一的平均波長表示入射光譜，而以一定的靶材和一定的操作電壓下，測得的—次輻射的光譜分布表示之。基體參數法的數學模型是基于加權平均算法和迭代算法，隨著更多的校正因子的加入，利用迭代運算，基本參數法的分析結果與實際值的偏差有時候可以非常接近了甚至可能已經小于儀器本身的誤差范圍，所以部分軟件公司已經聲稱他們推出的新軟件是“無標（樣）定量軟件”。