X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發出的X射線，它包含了被分析樣品化學組成的信息，通過對上述X射線熒光的分析確定被測樣品中各組份含量的儀器就是X射線熒光分析儀。
不同元素發出的特征X射線能量和波長各不相同，因此通過對X射線的能量或者波長的測量即可知道它是何種元素發出的，進行元素的定性分析。同時樣品受激發后發射某一元素的特征X射線強度跟這元素在樣品中的含量有關，因此測出它的強度就能進行元素的定量分析。
因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WDEXRF）和能量色散型（EDXRF）。
為了滿足現代企業管理和生產要求，必須對生產過程中的原材料的化學成分進行及時、準確的分析和控制，傳統的化學分析方法已經不能完全滿足生產過程的需要。目前眾多新型冶煉企業為了達到良好的質量控制指標，大都配備了相應的分析儀。由于化學分析方法分析速度的限制，實際上，采用化學分析方法對于生產過程來說只有事后監測的意義，而沒有控制意義，往往是當我們發現某個控制環節有問題時，已經造成了嚴重的后果，給工廠帶來了很大的損失。