| 方法名稱 | 信息來源 | 分析方式 | 樣品狀態 | 樣品用量 （g） | 分辨率 | 靈敏度 | 真空 （Pa） |
| XPS | 表面 < 8nm | 非破壞 | 固、氣、液 | 10-6~10-8 | 較低 | 10-18 | 1.33×10-4~1.33×10-9 |
| 吸收光譜 | 本體 | 非破壞 | 固、氣、液 | 10-2~10-3 | 10-9 | ||
| 發射光譜 | 本體 | 破壞 | 固 | 10-12 | |||
| 質譜 | 本體 | 破壞 | 固、氣、液 | 10-3~10-4 | 高 | 10-13 | 1.33×10-2~1.33×10-5 |
| NMR | 本體 | 非破壞 | 液（固 ）（氣） | 5×10-3 | 高 | ||
| 穆斯堡爾譜 | 表面 | 非破壞 | 固（Fe，Sn，稀土） | 10-3 | |||
| 電子探針 | 表面 | 非破壞 | 固 | 10-16 | 1.33×10-1~1.33×10-3 | ||
| 離子探針 | 表面 | 破壞 | 固 | 10-11 | |||
| X 射線熒光 | 表面 | 非破壞 | 固 | 10-17 |