1. EDS與XPS的相同點：兩者均可以用于元素的定性和定量檢測。
2. EDS與XPS的不同點：
1) 基本原理不一樣: 簡單來說，XPS是用X射線打出電子，檢測的是電子；EDS則是用電子打出X射線，檢測的是X射線。
2) EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態，且EDX的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低。而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態。XPS的靈敏度更高，最低檢測濃度＞0.１％。
3) 用法不一樣：EDS常與SEM，TEM聯用，可以對樣品進行點掃，線掃，面掃等，能夠比較方便地知道樣品的表面（和SEM聯用）或者體相（和TEM聯用）的元素分布情況；而XPS則一般獨立使用，對樣品表面信息進行檢測，可以判定元素的組成，化學態，分子結構信息等。
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