XRF測試作為常用測試之一，但仍有許多同學不太了解其具體內容，本篇文章詳細給大家介紹XRF與ICP比較的差異。
| ICP | XRF | 說 明 | 說明 |
| 1. 分析方式及樣品形態 | 化學分析法：利用電漿激發液體樣品， 產生放射光譜。 | 物理分析法：利用 X射線激發樣品產生 X-Ray能譜。 | 1.ICP 樣品必須為液態，為破壞式檢測。2.XRF樣品為固態、 液態或粉末皆可， 且為非破壞式檢測方式。 |
| 2. 檢測濃度范圍 | ppm～100%，約 70 種元素。 | ppm～100%，約 70 種元素。 | 1.ICP 之元素檢測下限較低 ( 靈敏度高 ) ，無法量測鹵素，如氯 (Cl) 、溴(Br) 。2. XRF之元素檢測下限較高 (靈敏度低 )，可量測鹵素 , 例如 RoHS中管制的 PBB、PBDE( 即溴的化合物 ) |
| 3. 樣品分析時間 | 液體樣品約 2 分鐘。( 包含前處理時間 ) | 固、液、粉末，約為 5～10 分鐘，無需前處理。 | 1.ICP 需要前處理步驟將固體樣品經由強酸高溫長時間 (2～12 小時 ) 或高壓等消化步驟，變成液體樣品。2.XRF樣品可直接量測，無需前處理。 |
| 4. 二次污染處理 | (1) 需處理 ICP 的廢氣(2) 需處理前處理所產生的酸氣(3) 需處理前處理所產生的強酸廢液 | 無二次污染處理∶X 光源輻射量極低，儀器本身有安全屏蔽，操作時無須任何特殊裝置。 | 1.ICP 分析方法，會產生環境二次污染，為破壞式分析。2.XRF 分析方法，上會產生環境二次污染，符合 ISO 14000 之精神，為非破壞式分析。 |
| 5. 人員要求 | 需專業化學師，人員訓練，專業性較高，訓練時間較長。同時因前處理有使用到強酸及高溫處理，因此實驗室需配置安全防護裝置，且需符合勞工安全及環境廢棄物處理之規范與相關費用之產生。 | 臺灣地區操作者需至輻射防護協會受 18 小時講習訓練方可操作設備；在大陸地區則無此要求。 | 1.ICP 在設立化學實驗室時， 原則上是需要有緊急安全計畫，提報勞委會。2.XRF之 X光源的能量低 ( 屬微量 X光) ，列為登記類設備，只須至原委會登記，領有登記證後即可使用。 |
| 6. 儀器操作性 | 一般 ICP 在操作時，較易發生誤判，需專業技術人員協助，尤以在定量時，元素波數判定上易產生誤判。 | 有特殊的軟硬體，將偵測下限，再現性做更準精的量測，如∶鎘有標準品，可直接量測，偵測下限可達 1.7ppm。 | ICP/ XRF 皆鎖定 QA/QC市場，而軟體操作，全部中文化 ( 繁/ 簡) 。 |
| 7. 在分析塑料和重金屬分析的特性 | (1) 為一般規范指定的分析儀器之一。(2) 靈敏度高(3) 須有專業的化學分析技術。(4) 有環境二次污染物，須再處理。(5) 耗材費較高。(6) 分析時間較短，但若加上前處理時間，每個樣品將超過數十分鐘。 | (1) 為 Panasonic、Dell 、Microsoft 、Mitsubish 、SONY等大廠作為內部品質控管之設備。(2) 低濃度時靈敏度較低。 (Cd 的偵測下限小於1.7ppm)(3) 耗材費用低， 受輻射防護協會訓練 18 小時即可操作此儀器設備。(5) 無環境二次污染, 符合 ISO 14000之精神每個樣品分析時間約5～10 分鐘。(6) 無須另設其他周邊設備。(7) 建議作為進料檢驗及品管之用(8) 建議作為出貨常態分析之用 | 就分析儀器特性及國際規范要求， ICP 是目前最能被接受的分析儀器，但一般大廠仍只接受第三公證單位的報告。XRF已成為進料品管及制程中品質控制必備之塑料重金屬快速檢測 |
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