XRF分析是一項成熟的技術,利用初級X射線光子或其他微觀離子激發待測物質中的原子,使之產生熒光(次級X射線)而進行物質成分分析和化學態研究的方法。用于在整個行業范圍內驗證成分,是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。在測定電子電器產品中是否存在限用物質時,一般采用XRF進行初篩。其基本的無損性質,加上快速測量和結構緊湊的臺式儀器等優點,能實現現場分析并立即得到結果。