主要是指測試的精確度，一般來說XRF的測試精度比較低，一般測試結果做得比較理想的情況都有10%以上的誤差，同時看在應用在哪些方面的測試，測什么基材的什么元素，本底的影響等。
一般是定性分析，現在XRF應用在ROHS比較多，它主要來進行定性分析，看看是否達到ROHS標準要求。當然如果要求不高的百分比的含量測量是可以達到精度要求的，是可以定性的，同時可以多用標樣來提高它的測試精確度。
基本介紹
現代X射線熒光光譜分析儀由以下幾部分組成：X射線發生器（X射線管、高壓電源及穩定穩流裝置）、分光檢測系統（分析晶體、準直器與檢測器）、記數記錄系統（脈沖輻射分析器、定標計、計時器、積分器、記錄器）。不同元素具有波長不同的特征X射線譜，而各譜線的熒光強度又與元素的濃度呈一定關系，測定待測元素特征X射線譜線的波長和強度就可以進行定性和定量分析。