XRF熒光光譜儀根據其分光原理不同分成波長色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF）。我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器。
1、XRF熒光光譜儀的優勢
（1）制樣簡單。通常情況下是物理制樣。試樣經過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成。
（2）分析范圍廣，理論上從四號元素Be到92號元素鈾均可進行分析。
（3）測量范圍寬，從0.001%到100%均可進行分析。
2、XRF熒光光譜儀的局限性
（1）各公司宣傳XRF熒光光譜儀的分析范圍從PPM到100%。實際上儀器的分析下限受所分析試樣的基體影響很大。如果分析碳氫化合物中的元素，檢出限可以達到到PPM，如石油中硫S的分析，地質樣品中則只能達到10PPM，而在鉛合金中檢出限要50PPM以上。XRF無法進行純金屬材料分析，純金屬材料中各元素的含量均很低。
（2）不銹鋼中的五害元素也不能用XRF進行分析。傳統上，不銹鋼生產企業通常用XRF熒光進行過程控制分析，主要是直讀光譜儀對高含量元素鉻、鎳的測量精度不能令人滿意。一臺儀器就能滿足合金成份與微量元素的全部測定。便目前不銹鋼生產企業就只能用直讀光譜儀來測量微量元素了，因當今材料要求五害元素的含量比國家標準要低得多。
（3）XRF對標樣的依賴性很強。試樣的顆粒度、組成、結構差異等均會對分析結果產生很大影響。
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