XRF光譜儀的主要部件組成為X射線管、光圈、探測器、對焦系統、相機以及樣品臺。如上圖所示。X射線管是儀器的一部分，產生照射樣品的X射線。光圈是引導X射線指向樣品的裝置的第一部分。XRF儀器中的光圈將決光斑尺寸，正確的光圈選擇對精密度和測量效率至關重要。探測器與相關電子設備一并處理從樣品中激發出的X射線。
