Z 襯度像/HAADF-STEM 像（ Z-contrast Imaging/ High angle annular dark field image,HAADF）
20 世紀 90 年代以來，隨著電鏡硬件的不斷發展，尤其是具有場發射電子槍的超高真空電鏡的出現和普及，一種高分辨掃描透射成像技術，即高分辨或原子分辨率的原子序數（ Z）襯度像（ High Resolution or Atomic Resolution），在材料微觀分析方面嶄露頭角，成為當代電子顯微技術發展的新領域。 Z 襯度成像也可稱為掃描透射電子顯微鏡高角環形暗場像（ HAADF-STEM， High Angle Angular Dark Field-Scanning Transmission Electron Microscopy）。
在 TEM 中，被高電壓加速的電子照射到試樣上，入射電子與試樣中原子之間發生多種相互作用。其中彈性散射電子分布在比較大的散射角范圍內，而非彈性散射電子分布在較小的散射角范圍內，因此，如果只探測高角度散射電子則意味著主要探測的是彈性散射電子。這種方式并沒有利用中心部分的透射電子，所以觀察到的是暗場像。