萊寶分子泵機組是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱,是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設備。其內部有高速旋轉的轉子,支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷,正確的使用和及時的保養,對軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。
操作要求:
1.分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏;
2.不能在大氣中打開,必須在達到10Pa時打開。打開相應的高壓閥以啟動分子泵;
3.當M2或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作;
4.打開萊寶分子泵機組之前,必須先打開冷卻水閥。葉輪停止后,必須關閉冷卻水閥;
5.每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞;
6.當出現警告信息“EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機槍進行檢查。在再次打開之前,請確保水路暢通。當出現其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
7.當分子泵出現故障無法使用時,應暫停生產,并在手動充滿空氣后更換備用分子泵;
8.當分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作;
9.當萊寶分子泵機組發生故障時,必須根據故障提示進行處理。