電子束光刻相關介紹
電子束曝光（electron beam lithography）指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。 光刻技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達到納米量級，從而為制作納米線提供了很有用的工具。電子束曝光需要的時間長是它的一個主要缺點。為了解決這個問題，納米壓印術應運而生。 電子束曝光在半導體工業中被廣泛使用于研究下一代超大規模集成電路。......閱讀全文
電子束光刻相關介紹
電子束曝光（electron beam lithography）指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。 光刻技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達到納
電子束光刻光柵掃描系統相關介紹
采用高速掃描方式對整個圖形場掃描,利用快速束閘控制電子束通斷,實現選擇性曝光。例如美國Etec公司生產的MEBES系統采用高亮度熱場致發射陰極,在掩模版上可獲得400的束電流密度，工件臺在X方向作連續移動時，電子束在Y 方向作短距離重復掃描，從而形成一條光柵掃描圖形帶。隨后工件臺在 Y方向步
電子束光刻的特點
電子束曝光是用低功率密度的電子束照射電致抗蝕劑，經顯影后在抗蝕劑中產生圖形的一種微細加工技術。 這種曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工藝容限大，而且生產效率高，但由于電子束在光刻膠膜內的散射，使得圖案的曝光劑量會受到臨近圖案曝光劑量的影響（即臨近效應），造成的結果是，顯影后，線寬有所變化或圖
電子束光刻的基本結構
電子束曝光的基本結構，從上往下依次為：電子槍、電子槍準直系統、電磁透鏡、消像散器、偏轉器、物鏡、光闌（Aperture）、電子探測器、工作臺（stage）以及真空泵（離子泵、分子泵、機械泵）。 電子槍：高分辨率的熱場發射，配有高壓，電子束的能量通常在10~100KeV。 電子槍準直系統：對電
電子束光刻投影電子束掃描系統
掃描式電子束曝光系統可以得到極高的分辨率，但其生產率較低，不能滿足大規模生產的需要。成形束系統生產率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，難以制作納米級圖形。近年來研發的投影電子束來曝光系統，既能使曝光分辨率達到納米量級，又能大大提高生產率，且不需要鄰近效應校正。在研制中的投影式電子束曝
電子束光刻成型電子束掃描系統
成形電子束曝光系統按束斑性質可分成固定和可變成形束系統。固定成形束系統在曝光時束斑形狀和尺寸始終不變；可變成形束系統在曝光時束斑形狀和尺寸可不斷變化。按掃描方式，成形電子束曝光系統又可分為矢量掃描型和光柵掃描型。一種尺寸可變的矩形束斑的形成原理是電子束經上方光闌后形成一束方形電子束，再照射到下方
半導體所集成技術中心召開電子束光刻用戶研討會
4月12日下午，中科院半導體研究所半導體集成技術工程研究中心召開了2011年度電子束光刻用戶研討會。半導體集成技術工程研究中心領導以及來自半導體所各部門的30余名從事納米加工的研究生出席了本次會議。 半導體集成技術工程研究中心主任楊富華簡要回顧了10年來集成技術中心設備的購建、技術人員的配備和
七點解析JEOL高精密的圓形電子束光刻系統
最新高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統，通過全方位的設計優化，實現更簡便的操作，更快的刻寫速度，更小的占地面積和安裝空間，并且更加綠色節能。 ◇ 節省空間 標準的設備占地面積為4.9m（W）×3.7m（D）×2.6m（H），比以往機型占用空間更小，外形更加緊湊美觀。
電工所科技前沿論壇“微光刻與電子束光刻技術”開講
從1958年世界第一塊平面集成電路到2012年04月24日英特爾在北京天文館正式發布核心代號為Ivy Bridge的第三代酷睿處理器—英特爾首款22納米工藝處理器，短短五十多年，微電子技術一直遵循著摩爾定律，發展勢頭迅猛。 針對微光刻與電子束光刻技術發展圖譜，7月6日，中科院微電子所陳
紅細胞相關的病癥的相關介紹
紅細胞增多癥（Polycythemia）以紅細胞數目、血紅蛋白、紅細胞壓積和血液總容量顯著地超過正常水平為特點。兒童時期血紅蛋白超過180g/L（16g/dl），紅細胞壓積大于55%和每公斤體重紅細胞容量絕對值超過35ml，排除因急性脫水或燒傷等所致的血液濃縮而發生的相對性紅細胞增多，即可診斷。
乙肝相關性腎炎的相關介紹
乙型肝炎相關性腎小球腎炎(hepatitis B virus associated glomerulone nephritis)是指由乙型肝炎病毒(HBV)直接或間接誘發的腎小球腎炎。本病曾稱為乙型肝炎腎炎、乙型肝炎免疫復合物腎炎、乙型肝炎病毒抗原相關性腎炎等。我國是HBV感染的高發區，人群HB
車載逆變器相關介紹
車載逆變器一般使用汽車電瓶或者點煙器供電，先將低壓直流電轉換為265V左右的直流電，然后將高壓的直流電轉變為220V、50Hz的交流電。車載逆變器打破了在車內使用電器的諸多局限。車載電源不僅適用于車載系統，只要有DC12V直流電源的場合，都可使用。車載逆變器充分考慮到外部的使用環境，當發生過載或
敏感元件相關介紹
敏感元件指能夠靈敏地感受被測變量并做出響應的元件。是傳感器中能直接感受被測量的部分。 技術工藝，是衡量一個企業是否具有先進性，是否具備市場競爭力，是否能不斷領先于競爭者的重要指標依據。隨著我國生物敏感元件市場的發展，與之相關的核心生產技術應用與研發必將成為業內企業關注的焦點。了解國內外生物敏
無損檢測相關介紹
無損檢測是指在不損害或不影響被檢測對象使用性能，不傷害被檢測對象內部組織的前提下，利用材料內部結構異常或缺陷存在引起的熱、聲、光、電、磁等反應的變化的方法。 它是工業發展必不可少的有效工具，包括有射線檢驗、超聲檢測、磁粉檢測和液體滲透檢測等。
制粒機的相關介紹
制粒機主要由喂料、攪拌、制粒、傳動及潤滑系統等組成,在制藥、化工、食品工業廣泛應用。 制粒機制粒快、效果好，設計特殊孔的濾網，仔細篩濾，其摩擦濾網桿能扎碎篩濾堅固粒子，在制藥、化工、食品工業廣泛應用。該機能替代搖擺式 顆粒機，是新一代的顆粒設備。
移液器的相關介紹
移液器使用 步驟/方法：?1、如液體不小心進入活塞室應及時清除污染物;??2、移液器使用完畢后，把移液器量程調至zui大值，且將移液器垂直放置在移液器架上;??3、避免放在溫度較高處以防變形致漏液或不準; ??4、根據使用頻率所有的移液器應定期用肥皂水清洗或用60 %的異丙醇消毒，再用雙 蒸水清洗并
穆斯堡爾譜儀的相關介紹
穆斯堡爾譜儀用于測定物質γ射線無反沖共振吸收效應的儀器。其基本原理是：由放射源（γ光源）射出的γ光子被樣品中存在的穆斯堡爾核（如57Fe，119Sn）所吸收，形成共振吸收譜，樣品中穆斯堡爾核與核外化學環境的相互作用會引起共振吸收譜線的位置、形狀、數目的 變化。反過來利用所測穆譜的這些變化推出穆核
自吸泵的相關介紹
自吸泵屬自吸式離心泵，它具有結構緊湊、操作方便、運行平穩、維護容易、效率高、壽命長，并有較強的自吸能力等優點。管路不需安裝底閥，工作前只需保證泵體內儲有定量引液即可。不同液體可采用不同材質自吸泵。 自吸泵的工作原理是水泵啟動前先在泵殼內灌滿水（或泵殼內自身存有水）。啟動后葉輪高速旋轉使葉輪槽道
激振器的相關介紹
激振器（vibration exciter）是附加在某些機械和設備上用以產生激勵力的裝置，是利用機械振動的重要部件。激振器能使被激物件獲得一定形式和大小的振動量，從而對物體進行振動和強度試驗，或對振動測試儀器和傳感器進行校準。激振器還可作為激勵部件組成振動機械，用以實現物料或物件的輸送、篩分、密
微壓計的相關介紹
微壓計是丈量細小壓力、負壓或差壓的壓力計，這類外表靈敏度、度都很高，一般可到0.1mm； 有的還能夠到達雙液U形管壓力計雙液U形管壓力計可用于丈量空氣或其它氣體的微正壓； 負壓或差壓，兩頭液柱的讀值加總即為丈量值；移動刻劃尺即可作零點調整。 形管微壓計形管微壓計一、加工
葉綠體的相關介紹
葉綠體（Chloroplast）是質體的一種，是高等植物和一些藻類所特有的能量轉換器。其雙層膜結構使其與胞質分開，內有片層膜，含葉綠素，故名為葉綠體。 葉綠體是含有綠色色素（主要為葉綠素 a 、b）的質體，為綠色植物進行光合作用的場所，存在于高等植物葉肉、幼莖的一些細胞內，藻類細胞中也含有。葉
電爐的相關介紹
電爐（electric furnace）是指引利用電熱效應供熱的工業電爐和家用電爐。工業電爐又分為電阻爐、感應爐兩種，隨著現代工業技術的發展感應爐成為電爐中最為節能的電轉換加熱方式，廣泛應用家庭、醫藥、化工、冶金、等多個領域。電爐具有快速加熱、容易控制溫度、熱效率高等特點。
癌基因相關介紹
癌基因，也稱為致癌基因（英語：Oncogene）是一類能使正常細胞轉化為癌細胞的基因。一般而言，癌基因是功能出現異常的原癌基因（英語：Proto-oncogene）。原癌基因一般與細胞的增殖生長相關，功能正常的原癌基因并不會導致癌癥。當原癌基因發生片段丟失、點突變、復制等突變后，就可能轉化為癌基因。
移液器的相關介紹
移液器也叫移液槍，是在一定量程范圍內，將液體從原容器內移取到另一容器內的一種計量工具。被廣泛用于生物、化學等領域。中文名：移液器，外文名：locomotive?pipette基本結構移液器在臨床實驗室中因為基本結構簡單，使用方便等原因而得到廣泛應用。其基本結構主要有顯示窗、容量調節部件、活塞、0-形
斬波器的相關介紹
直流斬波器又稱為截波器，它是將電壓值固定的直流電，轉換為電壓值可變的直流電源裝置，是一種直流對直流的轉換器 已被廣泛使用，如直流電機的速度控制、交換式電源供應器(Switching-Power-Supply)等。 直流斬波是將固定的直流電壓變換成可變的直流電壓，也稱為DC/DC變換。 斬波
滑動變阻器相關介紹
滑動變阻器是電學中常用器件之一，它的工作原理是通過改變接入電路部分 電阻線的長度來改變電阻的，從而逐漸改變電路中的電流大小。滑動變阻器的電阻絲一般是熔點高，電阻大的 鎳鉻合金，電阻桿一般是電阻小的金屬，所以電阻絲越長，電阻越大，電阻桿越短，電阻越小。電阻絲外面涂著絕緣層，繞在 絕緣管上，它的兩端
量瓶的相關介紹
是一種細頸梨形平底瓶，由無色或棕色玻璃制成，帶有磨口玻璃塞或塑料塞。頸上刻有一環形標的是量入式量器，表示在所指溫度下（一般為20℃）液體充滿至標線時的容積。容量瓶的用途是配制準確精度的溶液或定量地稀釋溶液。該量瓶常和移液管配合使用。頸上有標線，表示在所指溫度下液體充滿到標線時，溶液體積恰好與瓶上
脫硫設備相關介紹
脫硫設備一般是指在電力行業生產中，用于除去煤中的硫元素，防止燃燒時生成SO2的一系列設備。 硫對環境的污染比較大，硫氧化物和硫化氫對大氣的污染，硫酸鹽、硫化氫對水體的污染，是環境保護工作的重點。熱電廠的生產流程中會燃燒大量的煤，而煤中常常含有一定量的硫元素，這些硫元素經過燃燒之后會釋放出大量S
溶酶體相關疾病介紹
矽肺二氧化硅塵粒（矽[xī]塵）吸入肺泡后被巨噬細胞吞噬，含有矽塵的吞噬小體與溶酶體合并成為次級溶酶體。二氧化硅的羥基與溶酶體膜的磷脂或蛋白形成氫鍵，導致吞噬細胞溶酶體崩解，細胞本身也被破壞，矽塵釋出，后又被其他巨噬細胞吞噬，如此反復進行。受損或已破壞的巨噬細胞釋放“致纖維化因子”，并激活成纖維細胞
X射線衍射光學部件的制備及其光學性能表征（一）
陳宜方?????摘要: 綜述了國內外在納米加工X射線衍射光學透鏡方面的研究現狀和最新進展。介紹了作者團隊過去三年在這方面做的工作。針對衍射透鏡關鍵技術，研發了具有大高寬比形貌的電子束光刻基礎工藝；結合金電鍍，提出了納米尺度波帶片的制造技術，并將該工藝成功擴展于分辨率板（Siemens s