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  • 發布時間:2022-03-03 10:19 原文鏈接: cvd和pvd分別代表什么

    CVD技術是化學氣相沉積Chemical Vapor Deposition的縮寫。
    化學氣相沉積乃是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內使氣態或蒸汽狀態的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態沉積物的技術。?簡單來說就是:兩種或兩種以上的氣態原材料導入到一個反應室內,然后他們相互之間發生化學反應,形成一種新的材料,沉積到基片表面上。?從氣相中析出的固體的形態主要有下列幾種:在固體表面上生成薄膜、晶須和晶粒,在氣體中生成粒子。
    PVD(Physical Vapor Deposition)---物理氣相沉積:指利用物理過程實現物質轉移,將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能(強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等)的微粒噴涂在性能較低的母體上,使得母體具有更好的性能。 PVD基本方法:真空蒸發、濺射 、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍)。

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