icp信號與電流共存的原因通過高頻電場產生的電磁波能量,使氣體分子發生電離和激發,從而形成等離子體。ICP的過程主要包括氣體進入等離子體室、氣體分子電離和激發、等離子體形成和維持等幾個步驟。氣體進入等離子體室,通常使用的氣體是氬氣或氮氣等稀有氣體。氣體進入等離子體室后,通過高頻電場產生的電磁波能量,使氣體分子發生電離和激發。