金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到潔凈和無氧化層的表面。
在這種情況下的等離子處理會產生以下效果：
a、灰化表面有機層
被有機物污染表面會受到化學轟擊；在真空和瞬時高溫狀態下，污染物部分蒸發；在高能量離子的沖擊下污染物被擊碎并被真空帶出；紫外輻射破壞污染物。
b、氧化物去除
金屬氧化物會與處理氣體發生化學反應，這種處理要采用氫氣或者氬氣混合物。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5min，第二步用氫氣和氬氣混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。
c、焊接
通常，印刷線路板在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質須采用等離子方法去除，否則易產生腐蝕等問題。
d、鍵合
好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行等離子清潔從而提高焊接的穩固性。