工作流程說明
1、SF6氣體的回收
當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻提純，在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。（見圖1）
2、SF6開關抽真空
使用真空泵把電器開關中的氣體可以抽除，真空泵的出口通向大氣。（見圖2）
3、充氣
經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到設定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：
1、借助SF6貯罐壓力使氣體汽化流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。（見圖3）
2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。（見圖4）
組成部件優點
（1）設計先進，功能齊全，結構合理，自動控制。
（2）壓縮系統：采用SF6無油封閉高壓壓縮機，無泄漏。
（3）抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回油裝置。
（4）凈化系統采用日本CKD公司原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，提純凈化效果更顯著，能高效去除空氣CF4等 (無需頻繁更換吸附劑)。
（5）裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
（6）裝置控制系統采用SF6閥門
（7）貯存系統按用戶要求配置250KG貯液罐。
（8）設備采用移動式。
技術性能指標
（1）型式：移動式、壓力式
（2）工作原理
a、使用壓縮機高壓—冷凝液化SF6氣體。氣液態凈化。
b、干燥器輔助氣體回收和回充。
c、充氣時經緩沖氣化充入（可加熱）。
（3）工作環境溫度： -10℃（-30可選） ---+40℃
（4）主要性能及技術參數
1、裝置極限真空度<10Pa
2、裝置抽真空速率55--110m3/h (真空泵極限真空度小于0.06Pa)
3、裝置充氣初壓力<133 Pa(用戶要求自定)
4、裝置充氣終壓力≤0.8M Pa
5、裝置充氣速率>20m3/h
6、裝置回收初壓力≤0.8M Pa
7、裝置回收終壓力<5000Pa
8、裝置回收壓縮機速率20m3/h
9、裝置年泄漏率<1%
10、裝置貯罐設計壓力4.5M Pa
11、貯罐容積250KG（含 充氣加熱/ 液位顯示）
12、外形尺寸約1850mm×1200mm×1700mm
13、貯存方式：液態、氣態
14、噪聲≤75dB聲壓級
15、干燥過濾器再生方式：真空再生加熱活化處理
16、電源：交流三相380V±10%、50HZ
17、裝置總功率<16KW
18、裝置重量：1180公斤
19、凈化：微水10PPm，油份5PPm，微塵≤1微米
20、回收氣體符合IEC60376、IEC60480 標準。（氣源需較好 ）
凈化提純后的SF6氣體應達到IEC標準。見《IEC60376》，《IEC60480》