Equilibar Vacuum Regulator是一種獨特的2級真空調節器。它利用Equilibar的超靈敏圓頂背壓調節器技術，在各種不同的流速下提供的壓力穩定性。
第1階段：小型設定點調節器
階段由一個小型敏感真空調節器組成，它產生的設定點壓力等于所需的過程真空度。這個小型調節器由提供給較大調節器出口的真空供電提供動力。這種小型調節器還允許將非常少量的空氣吸入其中，以減少真空設定點。
第2階段：增壓調節器
較大的調節器采用Equilibar獨特的直接密封隔膜技術，使過程（入口）壓力與其圓頂上的壓力（通過小型調節器）緊密匹配。第二階段是超靈敏的體積增強劑。它還在潛在的腐蝕性工藝蒸汽和較小的設定點調節器之間提供化學隔離。
這個體積增壓階段實際上是一個圓頂負載的背壓調節器。特殊隔膜阻擋了工藝孔的入口，防止真空泵將工藝壓縮到設定點壓力以下（在圓頂上）。一旦過程壓力增加到設定點壓力以上，氣體就會抬起特殊隔膜并流向調節器出口。
使用電子設定點調節器
對于計算機自動化，很容易使用電子真空調節器代替手動設定點調節器。電子真空調節器有兩個伺服閥，可快速打開和關閉，以控制由小型內部壓力變送器測量的真空。它們就像電子壓力調節器一樣工作，除了在進氣閥上使用環境空氣，并且真空供應連接到出口閥。
Equilibar Vacuum Regulators采用兩級設計，頂部設有一個設定點調節器，下面是一個更大容量的增壓級。
平衡真空調節器
小型真空調節器用于為較大的真空調節器（用作容積增壓器）生成設定點信號。
電子真空控制
小型電子真空調節器用于為較大的真空調節器提供設定點信號。
整體表現
即使氣體流速和真空供應壓力變化，這兩個階段的組合也提供非常穩定的真空壓力。Equilibar真空調節器起價600美元，是許多復雜真空應用的理想選擇，傳統的低成本解決方案無法正常工作。
應該注意的是，該真空調節器是不可釋放的非泄放型，并且不能快速增加入口上的壓力。該調節器適用于始終存在至少非常小的氣流的過程。如果您的過程是氣密的，流量接近零，您的應用工程師可以與您討論在調節器入口處提供小量氣體排放的簡單方法。