主要技術參數:一臺好的儀器應能得到準確(測得的數值與其真值相符)并精確(測量重復性好)的2θ、I及f(x)，需 要考慮下列幾個主要技術參數：
1、X射線發生器的穩定度：這不僅關系到所測衍射強度的準確可靠，而且關系到所有部件的準確和穩定。現代粉末衍射儀的光源穩定性一般在外電源變化10%以內，輸出變化0.01%以內。
2、X射線管的功率：對于密封式X射線管，Cu靶一般為2kw，Ag、Mo、W等靶一般大于2kw，而對Co、Fe、Ni等靶則小于2kw。對于轉靶，常用的有12kw和18kw。
3、單色器的效率：應不小于25%。
4、探測器的效率：視品種而異。
5、計數的線性范圍：關系到強度測量的準確性，一般在cps。有許多儀器附加了校正軟件，宣稱可以達到cps。
6、衍射角(2θ)的測量準確度和精確度。
7、分辨率：常用的Si(311)衍射峰的半高寬來代表。對于一般實驗室粉末衍射儀，此值約在0.05°~0.1°之間。